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リンテック 液体マスフローコントローラ　ＬＣ−３１０２Ｌ 【A0JG-1943】
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更新日:2026/08/29

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商品説明

商品仕様
流量（Ｈ２Ｏ）
０．２ｇ・ｍｉｎ
流量制御範囲
５ー１００％
バルブ動作
ノーマリオープン
精度
±１．０％Ｆ．Ｓ．
直線性
±０．５％Ｆ．Ｓ．
再現性
±０．５％Ｆ．Ｓ．
応答時間
３ｓｅｃ
アナログ流量設定信号
０．２５ー５ＶＤＣ
アナログ流量出力信号
０ー５ＶＤＣ
必要差圧
５０ー３００ｋＰａ
耐圧
１ＭＰａ（Ｇ）
使用保証温度
１５ー３５℃０ー８０％ＲＨ
リークレート
１×１０−１１Ｐａ・ｍ３・ｓｅｃＨｅ
接液部材質
ＳＵＳ３１６Ｌ，ＰＣＴＦＥ
シール材
Ａｕ
所要電源
＋１５ＶＤＣ±３％１００ｍＡ−１５ＶＤＣ±３％５０ｍＡ
取付姿勢
自由
アナログコネクタ
Ｄｓｕｂ９ｐｉｎ
デジタルインターフェイス
モジュラジャックＲＪ４５・ＲＳ−４８５
バルブ方式
ピエゾアクチュエータ
重量
１．０ｋｇ
単位
１台

メーカー情報
メーカー名
リンテック
メーカー品番
ＬＣ−３１０２Ｌ

カタログ掲載ページ

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ＬＣ−３１０２Ｌ　マスフローコントローラ

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