エフコン コントローラー　Ｃ１０３０４Ｓ２３０ＬＨ２ 【3128-4042】

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商品仕様

流量（ＳＬＭ）：３０　|　ガス：Ｈ２　|　流量精度：±２％ＦＳ（精度保証範囲１５から３５℃）　|　再現性：±０．２％ＦＳ　|　流量制御範囲：５から１０…

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販売価格 ￥120,175(税込) ￥109,250(税抜)
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商品説明

商品の特徴

熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。

商品仕様
流量（ＳＬＭ）
３０
ガス
Ｈ２
流量精度
±２％ＦＳ（精度保証範囲１５から３５℃）
再現性
±０．２％ＦＳ
流量制御範囲
５から１００％ＦＳ
流体
気体
使用可能温度
５から５０℃８５％ＲＨ以下
応答性
６ｓｅｃ
動作圧力範囲
５０から３００ｋＰａ
耐圧
１ＭＰａ（Ｇ）
外部リークレート
１×１０＾−７Ｐａ・ｍ３ｓｅｃ（Ｈｅ）以下
単位
１個

メーカー情報
メーカー名
エフコン
メーカー品番
３−８０３４−０５

カタログ掲載ページ

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更新日:2024/05/07

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コントローラー　Ｃ１０３０４Ｓ２３０ＬＨ２

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