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コフロック マスフローコントローラ 3660 3660−1/4SW−Air−100SCCM−20℃ 8421-5819

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商品仕様

精度:±1.0%FS(25℃) | 流体:Air | 最大流量:100SCCM | 継手:1/4SWL | センサ方式:熱式巻線センサ | バルブ方式…

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販売価格 ¥120,120(税込) ¥109,200(税抜)
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商品説明

商品の特徴

定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。

商品仕様

精度
±1.0%FS(25℃)
流体
Air
最大流量
100SCCM
継手
1/4SWL
センサ方式
熱式巻線センサ
バルブ方式
比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
制御範囲
2から100%(FS)
応答性
2sec以内(within±2%FS)
温度係数
±0.1%FS/℃(15から35℃)
再現性
±0.5%FS
耐圧
980kPa(G)
リークレート
1×10^−8Pa・m3/s以下(He 透過含まず)
単位
1個

メーカー情報

メーカー名
コフロック
メーカー品番
33710792

カタログ掲載ページ

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注意事項

※【返品に関するご注意】この商品は直送品のため、お客様のご都合による返品はお受けできません。
※コード番号をご指定の後、流量を併せてご連絡下さい。
※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります。
※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。
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更新日:2025/05/02

マスフローコントローラ3660−1/4SW−Air

販売価格
¥120,120(税込)
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