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対象ガス:仕様による | 測定範囲:仕様による | 奥行(mm):128 | 高さ(mm):150 | 幅(mm):62 | アンモニア:FS・100…

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新コスモス電機 新コスモス 半導体材料ガス検知器 XPS72 1台 A04U-5560
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ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能です。カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減できます。

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商品説明

商品の特徴

ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能です。カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減できます。

商品仕様

対象ガス
仕様による
測定範囲
仕様による
奥行(mm)
128
高さ(mm)
150
幅(mm)
62
アンモニア
FS・100ppm
シラン
FS・25ppm
ジクロルシラン
FS・25ppm
アルシン
FS・250ppb
ホスフィン
FS・1.0ppm
ジボラン
FS・500ppb
セレン化水素
FS・250ppb
ゲルマン
FS・1.0 ppm
塩素
FS・5ppm
三フッ化塩素
FS・1.0ppm
塩化水素
FS・25ppm
フッ化水素
FS・10ppm
臭化水素
FS・10ppm
一酸化窒素
FS・100ppm
硫化水素
FS・50ppm
一酸化炭素
FS・250ppm
ガス採気方式
自動吸引式
ジシラン
FS・25p
セット付属内容
ショルダーベルト
セット付属内容
単3形アルカリ乾電池4本
セット付属内容
フィルタエレメント2枚
単位
1台

メーカー情報

メーカー名
新コスモス電機
メーカー品番
XPS72

カタログ掲載ページ

-/-

注意事項

※使用には別途センサユニットが必要です。
※【返品に関するご注意】この商品は直送品のため、お客様のご都合による返品はお受けできません。

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新コスモス 半導体材料ガス検知器

入数 1台 販売価格 ¥271,700 (税込)

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