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新コスモス電機 新コスモス　半導体材料ガス検知器　ＸＰＳ７２　１台 【A04U-5560】
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ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能です。カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減できます。

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更新日:2026/05/16

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商品説明

商品の特徴

ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能です。カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減できます。

商品仕様
対象ガス
仕様による
測定範囲
仕様による
奥行（ｍｍ）
１２８
高さ（ｍｍ）
１５０
幅（ｍｍ）
６２
アンモニア
ＦＳ・１００ｐｐｍ
シラン
ＦＳ・２５ｐｐｍ
ジクロルシラン
ＦＳ・２５ｐｐｍ
アルシン
ＦＳ・２５０ｐｐｂ
ホスフィン
ＦＳ・１．０ｐｐｍ
ジボラン
ＦＳ・５００ｐｐｂ
セレン化水素
ＦＳ・２５０ｐｐｂ
ゲルマン
ＦＳ・１．０　ｐｐｍ
塩素
ＦＳ・５ｐｐｍ
三フッ化塩素
ＦＳ・１．０ｐｐｍ
塩化水素
ＦＳ・２５ｐｐｍ
フッ化水素
ＦＳ・１０ｐｐｍ
臭化水素
ＦＳ・１０ｐｐｍ
一酸化窒素
ＦＳ・１００ｐｐｍ
硫化水素
ＦＳ・５０ｐｐｍ
一酸化炭素
ＦＳ・２５０ｐｐｍ
ガス採気方式
自動吸引式
ジシラン
ＦＳ・２５ｐ
セット付属内容
ショルダーベルト
セット付属内容
単３形アルカリ乾電池４本
セット付属内容
フィルタエレメント２枚
単位
１台

メーカー情報
メーカー名
新コスモス電機
メーカー品番
ＸＰＳ７２

カタログ掲載ページ

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注意事項

※使用には別途センサユニットが必要です。
※【返品に関するご注意】この商品は直送品のため、お客様のご都合による返品はお受けできません。
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新コスモス　半導体材料ガス検知器

入数 １台 販売価格 ￥271,700(税込)

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