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プレートサイズ:Φ6インチ | 表面処理:金メッキ | その他仕様:<ホットチャック部> | ▼チャック可能サイズ:Φ2ー6インチ | ▼温度制御範囲…

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MSAファクトリー ウェハホットチャック Φ6 金メッキ PH201K−06 PH201K−06 1個 A05V-8115
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ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。

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更新日:2025/12/02

商品説明

商品の特徴

ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。

商品仕様

プレートサイズ
Φ6インチ
表面処理
金メッキ
その他仕様
<ホットチャック部>
▼チャック可能サイズ
Φ2ー6インチ
▼温度制御範囲
室温ー200℃
▼温度精度
±1.5%
▼電気容量
900W
▼サイズ
200×234×54mm
▼重量
約3kg
その他仕様
<温度調節器>
▼電源
AC100V 50・60Hz
▼サイズ
98×156×101mm
▼重量
約1.3kg
※別途真空ポンプが必要です(推奨ポンプ例
1−9197−02 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAP−12S)。
単位
1個

メーカー情報

メーカー名
MSAファクトリー
メーカー品番
PH201K−06

カタログ掲載ページ

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PH201K−06 ウェハホットチャック

入数 1個 販売価格 ¥550,715 (税込)

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