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エフコン マスフローコントローラーＣ１０００　Ｎ／Ｃ　１００ｓｃｃｍ　Ｎ２　Ｃ１００５ＮＣ−４Ｓ２−１００−Ｎ２ 【A09A-3318】
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商品説明

商品仕様
流量
Ｆ．Ｓ．１００ｓｃｃｍ
接続
１・４インチＳＷＬ相当
ガス種類
Ｎ２
流量精度
±２％ＦＳ（精度保証範囲１５ー３５℃）
応答性
６ｓｅｃ
流量制御範囲
５ー１００％ＦＳ
入出力
アナログ信号（０ー５ＶＤＣ）
バルブ形式
Ｎ・Ｃノーマルクローズ
再現性
±０．２％ＦＳ
動作圧力範囲
５０ー３００ｋＰａ
耐圧
１ＭＰａ（Ｇ）
外部リークレート
１×１０＾−７Ｐａ・ｍ３・ｓｅｃ（Ｈｅ）以下
接ガス部材質
ＳＵＳ３１６、ＰＴＦＥ、フッ素ゴム
電源
＋１５ＶＤＣ±５％　６０ｍＡ、−１５ＶＤＣ±５％　１５０ｍＡ
通信方式
アナログ０ー５ＶＤＣ（Ｄ−Ｓｕｂ９Ｐｉｎコネクタ）
サイズ
１２７×２５．５×１００ｍｍ
単位
１個

メーカー情報
メーカー名
エフコン
メーカー品番
Ｃ１００５ＮＣ−４Ｓ２−１００−Ｎ２

カタログ掲載ページ

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マスフローコントローラーＣ１０００　Ｎ／

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