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エフコン マスフローコントローラーC1000 N/C 20sccm N2 C1005NC−4S2−20−N2 A09A-3335
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更新日:2026/06/11

商品説明

商品仕様

流量
F.S.20sccm
接続
1・4インチSWL相当
ガス種類
N2
流量精度
±2%FS(精度保証範囲15ー35℃)
応答性
6sec
流量制御範囲
5ー100%FS
入出力
アナログ信号(0ー5VDC)
バルブ形式
N・Cノーマルクローズ
再現性
±0.2%FS
動作圧力範囲
50ー300kPa
耐圧
1MPa(G)
外部リークレート
1×10^−7Pa・m3・sec(He)以下
接ガス部材質
SUS316、PTFE、フッ素ゴム
電源
+15VDC±5% 60mA、−15VDC±5% 150mA
通信方式
アナログ0ー5VDC(D−Sub9Pinコネクタ)
サイズ
127×25.5×100mm
単位
1個

メーカー情報

メーカー名
エフコン
メーカー品番
C1005NC−4S2−20−N2

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マスフローコントローラーC1000 N/

入数 1個 販売価格 ¥120,175(税込)

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