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アズワン 8インチCo膜(300nm)付ウェハ 8枚 シリコンウェハ スパッタ成膜 【A0M1-2353】
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均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板。研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板。

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商品説明

商品の特徴

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板。研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板。

商品仕様

その他仕様
<シリコンウェハ仕様>
サイズ(mm)
200.0±0.5mm
ウェハー厚(μm)
725±25μm
導電型
P型
面方位
100
抵抗値(Ω・cm)
1ー100
面状態
ミラー・エッチド
その他仕様
Vノッチ
TTV(μm)
≦15
その他仕様
<成膜内容>
1層目
Co膜/300nm±10%
その他仕様
▼120種類以上のターゲットを保有。メタル、貴金属、合金材、酸化物、窒化物、炭化物など、ご要望の薄膜加工品を提供します(Al、Ti、Cr、Mo、W、Ta、Si、DLC、Au、Ir、Ru、Pd、Pt、AlSi、AlSiCu、AlCu、NiFe、SiO2、ITO、IZO、AZO、ZnO、PZT、Si3N4、TiN、SiC etc)
単位
1箱

メーカー情報

メーカー名
アズワン
メーカー品番
54−7535−37

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8インチCo膜(300nm)付ウェハ 8

入数 1箱 販売価格 ¥376,200(税込)

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