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ウェハー・基板
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アズワン ウェハーキャリアFOUP KT−3003
フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。主要部分には導電化材料を使用しています。本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。