メーカー品番:ＩＤＳ−０１０Ａ
使用可能流体は、乾燥空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素。繰り返し精度は±１％Ｆ．Ｓ以下。瞬時流量・積算流量の表示が可能。ＡＣアダプタ方式で配線作業が簡単。コンタミ混入防止用の中空糸マイクロフィルター（０．０１ミクロン）を標準装備。流量調整弁を一体化しており流量の調整が可能。配管がしやすい背面配管。検出原理はＭＥＭＳ。
￥67,925
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商品番号：3163-4496 お届け予定日：12月11日(金)
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ＩＤＳ−０２５Ａ
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ＩＤＳ−０５０Ａ
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ＩＤＳ−１００Ａ
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