アズワン 4インチTi膜+AlCu膜付ウェハ シリコンウェハ スパッタ成膜 (全30商品)

  • 4インチTi膜+AlCu膜付ウェハ シリコンウェハ スパッタ成膜
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4インチTi膜+AlCu膜付ウェハ シリコンウェハ スパッタ成膜

メーカー品番:54−7554−51

均一で高密着なスパッタ成膜を実現した高品質基板。研究・評価用途に適した高精度スパッタ成膜基板。
¥315,700 〜 ¥735,900 (税込)
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¥315,700 (税込)

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¥446,600 (税込)

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¥639,100 (税込)

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¥412,500 (税込)

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¥543,400 (税込)

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¥735,900 (税込)

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1層目
Ti膜/50nm
TTV(μm)
≦15
ウェハー厚(μm)
525±25μm
オリフラ長さ
32.5±2.5mm
サイズ(mm)
100.±0.5mm
その他仕様
<シリコンウェハ仕様>
その他仕様
<成膜内容>
その他仕様
▼120種類以上のターゲットを保有。メタル、貴金属、合金材、酸化物、窒化物、炭化物など、ご要望の薄膜加工品を提供します(Al、Ti、Cr、Mo、W、Ta、Si、DLC、Au、Ir、Ru、Pd、Pt、AlSi、AlSiCu、AlCu、NiFe、SiO2、ITO、IZO、AZO、ZnO、PZT、Si3N4、TiN、SiC etc)
抵抗値(Ω・cm)
1ー100
導電型
P型
面状態
ミラー・エッチド
面方位
100
単位
1箱
メーカー
アズワン
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