アズワン 6インチサファイア基板(C面(0001))研究用 (全4商品)

  • 6インチサファイア基板(C面(0001))研究用
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6インチサファイア基板(C面(0001))研究用

メーカー品番:68−5627−47

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
¥202,400 〜 ¥1,459,700 (税込)
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▼多様な形状加工と表面処理が可能です(例
ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。
BOW
≦15μm
OF長さ
47.5±1mm
TTV
≦10μm
WARP
≦30μm
その他仕様
▼ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
その他仕様
▼方位(切断角度)、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
その他仕様
※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
その他仕様
6インチサファイア基板
厚み
1000±25μm
直径
150.0± 0.5mm
面状態
片面ポリッシュ
面方位
C面[0001] to0.2 off M−axis ± 0.1°
単位
1箱
メーカー
アズワン
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